半導(dǎo)體外延爐的保溫隔熱材料主要包含三氧化二鋁、Si3N4、氮化硅等相關(guān)材料。各種材料在半導(dǎo)體設(shè)備中扮演著至關(guān)重要的角色，可以有效地保持機(jī)器設(shè)備的工作溫度，保證設(shè)備的性能和穩(wěn)定性。
保溫材料的類型以及特點
三氧化二鋁：三氧化二鋁是一種具有高熔點、高韌性和良好保溫效果的結(jié)構(gòu)陶瓷。它可以有效地阻隔發(fā)熱量，維護(hù)敏感半導(dǎo)體材料元器件不受到熱危害。除此之外，三氧化二鋁還具有良好的耐化學(xué)性和耐蝕性，可以在惡劣的工作環(huán)境中長期保持特性。
Si3N4：Si3N4具有很高的強(qiáng)度和耐熱性，可以承受非常高的環(huán)境溫度而不出現(xiàn)彎曲或特性衰退。在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，Si3N4常被用于隔熱板，維護(hù)處理芯片免遭持續(xù)高溫加工工藝步驟的危害。除此之外，Si3N4還具有優(yōu)良的絕緣性能，有利于提升半導(dǎo)體行業(yè)的可靠性和安全性。
氮化硅：氮化硅外延性爐暖場保溫隔熱材料主要運(yùn)用于氮化硅外延性爐的暖場隔熱保溫。其成形的延伸氈主要分上下游隔離罩、中下游隔離罩和主隔離罩，表面都可粘附高純石墨鍍層，亦可根據(jù)客戶需求堆積熱裂解碳鍍層或氮化硅鍍層。這些材料高溫下發(fā)揮，具有優(yōu)良的持續(xù)高溫特性和穩(wěn)定性。
保溫隔熱材料在半導(dǎo)體外延爐中的重要性
保溫隔熱材料在半導(dǎo)體外延爐中主要運(yùn)用于隔熱和隔熱保溫，維護(hù)內(nèi)部半導(dǎo)體材料元件和結(jié)晶不會受到持續(xù)高溫危害。他們可以有效地保持機(jī)器設(shè)備的工作溫度，保證設(shè)備的性能和穩(wěn)定性。比如，三氧化二鋁和Si3N4可以阻隔發(fā)熱量，避免超溫；氮化硅外延性氈也可通過其的持續(xù)高溫特性和穩(wěn)定性，保證外延性爐高溫下的正常運(yùn)作。