半導(dǎo)體外延爐的傳感器往往需要定期清理，但清理次數(shù)和方法應(yīng)根據(jù)傳感器種類、加工工藝環(huán)境和污染程度綜合考量。以下屬于深入分析：

1.加工工藝環(huán)境污染積淀

外延性爐在高溫下（一般600℃~1200℃）、超高真空或腐蝕性物質(zhì)（如SiH?、NH?、Cl?等）自然環(huán)境下運(yùn)行，感應(yīng)器表層很有可能堆積：

細(xì)顆粒物：反映副產(chǎn)品（如硅顆粒物、碳堆積）

有機(jī)化學(xué)涂層：反映氣體在感應(yīng)器表面形成一層的高聚物或金屬氧化物

金屬材料環(huán)境污染：爐體材料和產(chǎn)品工件釋放出來的雜質(zhì)

這種污染物質(zhì)會(huì)嚴(yán)重影響傳感器檢測(cè)精度，甚至造成數(shù)據(jù)信號(hào)飄移或無效。

2.特性損耗風(fēng)險(xiǎn)性

熱電阻：環(huán)境污染可能造成溫度測(cè)量偏差，危害溫控可靠性。

液位傳感器：顆粒物阻塞可能會(huì)引起測(cè)量落后或數(shù)據(jù)異常。

汽體濃度傳感器：有機(jī)化學(xué)涂層可能改變感應(yīng)器對(duì)特定氣體敏感度。

3.機(jī)器設(shè)備的壽命

定期清理可以減少感應(yīng)器因環(huán)境污染造成的故障，減少拆換成本費(fèi)。