2025-07-02怎么確定半導(dǎo)體外延爐所需要的氮?dú)饬?/h4>
明確半導(dǎo)體外延爐所需要的氮?dú)饬繎?yīng)該考慮多方面因素,一般建議在0.1-2升/min中間。一、半導(dǎo)體外延爐及加氦基本原理半導(dǎo)體外延爐是制取半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵設(shè)備之一,能夠在持續(xù)高溫、髙壓的氛圍環(huán)境里,將氣體中的反映原材料附著在基板上,產(chǎn)生薄膜材料。為保持氛圍環(huán)境中的平穩(wěn)、控溫、穩(wěn)壓,液相外延性爐一般要加入
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